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氦气质谱检漏仪粗漏与细漏检测方法
2019-01-07 14:01:16 点击次数：

　　为了实现对电子元器件更高密封严密性的检测，自21世纪开端的几年，国际上开端出现新型的堆集氦气质谱检漏仪。这种仪器采用了深冷泵和四极质谱倍增器。深冷泵内腔温度可降至20K（-253℃），能够有用吸收氢氦以外的各种气体。

　　使用这种仪器，能够进行粗漏和细漏的组合检测。粗漏检测以氦气为示踪气体，预充氦或压氦的粗漏被检件，在空气中经一段时间的贮存候检，内部的氦气分气压PHe应等于或高于正常空气中的氦气分气压PHe0。设粗漏检测拒收的等效规范漏率判据为L0，按分子流气体交流（走漏）形式，在真空下检测的粗漏氦气丈量漏率判据。

　　细漏检测以氦气或其它气体为示踪气体，检测的走漏示踪气体通过深冷泵，然后通过质谱倍增器进行一段时间的堆集检测。因为深冷泵能有用进步氦气对氢以外气体的信噪比，再通过堆集倍增，非常有用的进步了氦气细漏检测的灵敏度。当前Inficon公司的Pernicka 700H型CHLD，使用铜垫圈密封小型检测室时，可检测的最小氦气漏率已达4×10-9Pa·cm3/s，使用不同的检测室，可检测的氦气丈量漏率判据范围可为2×10-8Pa·cm3/s～1×10-6Pa·cm3/s。

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